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反射膜厚仪

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    •   反射膜厚仪   可在几秒钟内完成高精度的薄膜厚度测量,实现便捷高效的无损测量。其基本原理是:光源发出的光经光纤导出后照射在样品表面,样品表面与基底反射的光产生干涉,通过其相位变化与波程差可测量薄膜厚度及光学常数。相比于其他的薄膜厚度测量仪器,具有经济适用,构造及维护简单,使用方便等优点。   F20反射膜厚仪单点测量系统   样品要求:透明或半透明薄膜   薄膜厚度:1nm~3mm   基底(厚度测量):表面光滑,可反射光线   基底(光学常数测量):平整,镜面反射   可测量多层薄膜样品   膜厚、折射率和消光系数   设定扫描图案,自动测量,速度2point/s   内置多种图案,用户可自建扫描图案   全自动XY工作台   F30在线厚度测量系统   测量速度快,可实时监控薄膜沉积生长情况   测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性   精度<±1%   非接触式测量,可以在沉积室进行测量   https://www.chem17.com/st593869/erlist_2468794.html   https://www.chem17.com/st593869/product_37919994.html
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