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- PFA花篮 PFA花篮（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花蓝 ，特氟龙卡匣 ， 特氟龙晶舟盒 ，特氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，能做激光雕刻，能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。 主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用。 二、参数 名称 规格 耐温性 应用 PFA花篮 PP Cassette 2寸 -200~260℃ 酸碱传输制程 4寸 6寸 三、特点 1.耐腐蚀：耐受强酸强碱 2.搭配可活动把手，用于晶圆芯片清洗运输 3.耐高低温：-200~260℃ 4.耐绝缘：介电性能与温度、频率无关； 5.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb； 6.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染 7.化学性能稳定
