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全自动热紫外一体纳米压印设备的技术优势

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    •   一、产品配置介绍:标准配置名称:全自动热紫外一体纳米压印设备(PP-N-06)。   二、技术参数及规格要求:   (1)能够实现2/4/6英寸晶圆压印。   (2)可实现200nm以上结构转移。   (3)全自动压印,手动取、放PP-N-06片,单片压印。   (4)10.1"触摸屏操作。   (5)适用于软模压印。   (6)设备附带配件。   (7)包含报警装置。   三、全自动热紫外一体纳米压印设备主机包含:   真空系统,压印模腔自动控制系统,压力自动控制系统,基底运送系统;   PLC全自动控制系统,按键及触屏操作界面,紫外光源。   四、技术优势:   (1)可实现最大6英寸全面积压印;   (2)采用高稳定性进口紫外汞灯光源,光源功率≥400W;   (3)压印精度:≥200nm;   (4)压印压力:0.1-30kpa可调;   (5)可实现纳米软模板自动脱模工艺;   (6)PLC自动控制系统;   (7)软件图形化用户界面;   (8)可适用硅片、玻璃、石英、塑料、蓝宝石、金属等通用衬底应用;   (9)残胶均匀性≤±10%;   (10)适用PDMS及软膜工艺,能够实现全自动压印过程。   全自动热紫外一体纳米压印设备如有需要欢迎访问以下网址与我们取得联系   http://www.vector-tek.cn/Products-37472798.html   https://www.chem17.com/st545869/product_37472798.html

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