检测认证人脉交流通讯录
OSAKA磁悬浮分子泵TGkine-R系列产品型号：
TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
产品特点：
■ 省电设计
■ 在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。
■ 支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）
■ 适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2使用场合：
■ 半导体制造设备
■ FPD制造设备
■ 太阳能电池制造设备
■ 玻璃/镜片等光学部件加工
■ 镀膜工艺
■ 加速器/宇宙环境模拟器技术参数：
型号※1
TGkine3300M-R
TGkine3400M-R
吸气口法兰
VG300 / ISO-B320
VG350
排气口法兰※2
KF40 / KF50
排気速度
N2 (L/s)
3300
N(付带金属保护网) (L/s)
3100
H2 (L/s)
2700
最大压缩比
N2
>1×108
H2
3×103
最大气体流量※3、※4
N2 (sccm)
2600
Ar (sccm)
1900
起动时间
(min)
≦11
停止时间
(min)
≦13
到达压力※5
(Pa）
<2×10-7
(Torr）
<1.5×10-9
最大排气口压力※6
(Pa)
110
(Torr）
0.82
推荐前级泵
(L/min)
≧2000
安装方向
任意
质量
(kg)
64 / 65
67
更多访问：
http://www.shycsm.net/Products-37038994.html
https://www.chem17.com/st519780/erlist_2368397.html
