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- 真空镀膜冷冻机在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
真空镀膜冷冻机的工作原理和作用规律
1.真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，果如真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射，结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜，解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种，如镀钛镀锆等等。
2.中频设备必须加冷却水，原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会在电导有表面积，这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。
3.磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射变形，所以它有一个水套来冷却射。同时还有一个重要原因磁控溅射可以被认为是镀膜技术中突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好。
4.冷水机是一种水冷却设备，能提供恒温、恒流、恒压的冷却水设备。其工作原理是先向机内水箱注入一定量的水，通过制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备，冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，达到冷却的作用。冷却水温可根据要求自动调节，长期使用可节约用水。
真空镀膜冷冻机主要适用于物理(化学)气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备,光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。可以在真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
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