检测认证人脉交流通讯录
- HarrickPlasma等离子清洗机真空泵PDC-OPE-2产品特点:
1、采用独立马达与轴承的密封设计;
2、系统运行稳定,低噪声、低振动、低泄漏;
3、与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强;
4、无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件;
5、外型尺寸:351x181x140mm
6、电源系统:电压 200 ~ 220 VAC (50/60 Hz)
7、适用于小型等离子体设备把氧气作为工艺气体环境;
Harrick Plasma等离子清洗机真空泵PDC-OPE-2技术参数:
抽速50Hz, 50 l/m, 3 m 3 /hr, 1.8cfm
极限压强2.5X10 -1 torr/3.3X10 -1 mbar
进气口最大压强1 个大气压/0PSI
出气口最大压强1.4 个大气压 6.5PSI
进气口法兰NW16KF 法兰
出气口法兰1/4NDP
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