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- CIF-Spin Coater匀胶机产品特点
1、 采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。
2、 5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,多100个阶段。
3、 内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
4、多重安全保护
电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;
盖子自锁功能,防止飞片盖子弹开伤人;
双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,大限度保证实验人员安全。
5、 一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。
6、 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,PTFE旋涂腔体,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盘,PTFE嵌镶钢化玻璃上盖,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
7、 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。
Spin Coater
http://www.plasmacleaning.cn/Products-34024397.html
https://www.chem17.com/st312732/product_34024397.html