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主要特点: 超高的分辨率0.6 nm (15 kV) and 0.7 nm (1 kV). 高速精确分析能力 稳定的大束流 从磁性样品到非导体样品使用范围广泛 技术指标： 分辨率:0.6nm (15kV)0.7nm (1kV) 放大倍数:25 to 1,000,000x 加速电压:0.01 to 30kV 束流强度:200 nA（15kV) 电子枪:浸没式热场发射电子枪 物镜设计:超级混合式物镜 样品台:5轴马达驱动
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