检测认证人脉交流通讯录
- 在很多纯气应用，诸如半导体工业中，气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作重要。一直以来，对湿气的持续追踪测量都是个难点，需要用到复杂的湿度分析仪或者贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案，用来在线测量露点值，下限低至-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露点传感器生产和校验的经验，结合标准工业化的材料和制造流程，打造出的适用于半导体制造行业和纯气体应用的低位变送器。
亮点
测量下限 -120°C 露点 (1 ppbV)
测量稳定，重复性好
集成的采样装置
模拟和数字输出
安装简便
VCR 过程接口
设计紧凑小巧
显示/报警单元可选
Pura
技术指标
传感器
传感器类型 密析尔陶瓷湿度传感器
量程 -120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
压力 低 10-9 torr; 大 24 MPa
气体流量 1 ~ 5 Nl/min
电气
电源 通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大电流 25 mA
输出 4-20 mA 输出, 对应范围可由软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)
输出出错状态 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 上限; 4 mA = 下限
机械性能
传感器套筒 不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光
气路连接端口 Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安装配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 不需要预留管路空隙
底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包装 Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装
选配件: 独立包装运输
Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作
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