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1. 材质：SS316L不锈钢结构 2. 品牌：PARKER /FUJIKIN 3. 流量范围：15~300 SLPM 4. 尺寸：1/4至1/2in. 5. 连接方式：VCR，卡套连接 6. 不锈钢气体过滤 7. 超高纯直通型气体过滤器 8. 3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量 9. 去离子水清洗后，热氮气烘干，从而满足半导体工艺标准 10. 对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性 11. 5Ra电解抛光表面防止内污染
吉林矽云科技有限公司
李恒
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