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扫描电子显微镜/ X射线能谱仪（S E M & E D S）
| 来 源： | 美信检测 | 类 别： | 测试方法 |
| 关键字： | 扫描电子显微镜,X射线能谱仪,S E M &,E D S | 发布时间： | 2015-09-15 |
详细介绍：
扫描电子显微镜/ X射线能谱仪（S E M & E D S）理论依据是电子与物质之间的相互作用。如图1所示，当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征射线和连续谱X射线、背散射电子、以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息， 如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。 S E M / E D S正是根据上述不同信息产生的机理，对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息，对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。
