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扫描电子显微测试 SGS厦门检测中心
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对应法规：SEM
CNAS认可项目：是 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM) 是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器，具有景深大、分辨率高、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富，几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。在产品研发、失效分析及科学研究等领域都具有重要的作用。
测试设备能力参数
扫描电子显微镜
Scanning Electron Microscope
设备参数
扫描电镜（SEM）
电子枪：钨灯丝
分辨率：
3 nm @ 30kV（二次电子）
8 nm @ 3kV（二次电子）
3.5 nm @ 30kV（背散射电子）
放大倍数：2 x ~ 100,000 x (一般10,000倍以下较清晰)
加速电压：200V ~ 30kV
探针电流：1 pA ~ 2 μA
样品室尺寸：
内部直径 230 mm
门宽 148 mm
能谱仪（EDS）
探测器：SSD硅漂移电制冷探头，有效探测面积不小于20 mm2
分辨率：Mn Ka保证优于127eV
元素分析范围：Li3~Cf98（检出极限约0.1~0.5wt%）
扫描模式：线扫描（LineScan）和面扫描（Mapping）
配有离子溅射仪，可实现试样喷金
SGS厦门测试联系人：张工。邮箱：Larry.zhang@sgs.com。联系方式：0592-5773137/18168271020
