SEMI E78-0912 GUIDE TO ASSESS AND CONTROL ELECTROSTATIC DISCHARGE (ESD) AND ELECTROSTATIC ATTRACTION (ESA) FOR EQUIPMENT

1. 静电产生的主要原因

• 接触分离
• 摩擦起电
• 感应起电

2. 静电的危害

    静电具有一定的隐秘性、积累性、复杂性和随机性，当静电现象发生时，静电会在半导体设备和器件中隐藏存在，随着工作时间的延长、工作量的增多，静电量会越积越多，进而加剧灰尘的依附性，长久以往，会降低设备的使用寿命。静电放电后，会对器件产生强烈的电攻击，被电击后的器件如果不进行及时的修复，可能导致器件的永久伤害。

    半导体制造工厂，存在易燃化学品，静电放电后，会导致静电作为起火源，引起化学品的燃烧甚至爆炸发生。

欣项科技在SEMI 认证领域拥有十余年丰富的认证经验，能为您提供业界公认的半导体设备测试、评估报告以及文件审查服务。更为重要的是，欣项科技具有独立的第三方实验室认可资质，如美国权威实验室认可机构A2LA，中国实验室认可组织CNAS，国际半导体协会SEMI，直接具有对SEMI 标准的授权及认可，让你的认证放心无忧。

如希望Safeslab欣项科技提供SEMI S2/ F47/ S10/ S6/ E78等服务，请与我们联系。