X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy，XPS）是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器，主要用于固体材料的表面（2～3nm深度）元素成分和价态的定性和定量分析。Kratos公司作为世界上最早生产商品化X射线光电子能谱仪的厂家之一，其产品在世界上许多著名的大学、科研机构和企业公司中都有应用。

  测试内容: （1）提供样品表面和内部成分分析，可采用氩离子溅射处理，同时可进行剖面AES分析； （2）固体样品可提供<50oC角度侧倾扫，提供表面 2-10nm精细元素分布分析； （3）可进行微区元素分析； （4）仪器精度：0.05eV。 应用范围： 电子能谱仪主要用于表面的成分分析和表面元素化学状态的分析，主要使用范围如下：（1）半导体大规模、超大规模集成电路的研究; （2）冶金工业：寻求各种表面处理技术，以获得材料的特殊性能，如耐磨性、高硬度，耐腐蚀性等；（3）固体化学；研究固体的表面吸附，表面反应和表面化学状态；（4）材料科学：研究材料表面的成分和结构，探索表面性能

广州化联质检测试服务项目表

1、XPS（可做刻蚀XPS；UPS价带谱）
2、TEM（普通形貌、高分辨透射电镜；可测磁性样品TEM）
3、SEM（场发射扫描电镜；可测磁性样品SEM，可喷金）
4、BET（可测介孔、微孔材料比表面、孔容及孔径分布等全套分析，也可做水蒸汽、有机气体等蒸汽吸附）
5、XRD（广角XRD、小角XRD、掠入射XRD及原位XRD均可）
6、AFM（原子力显微镜：块体、粉末及液体样品均可做）
7、EPMA（电子探针测试，点、线、面均可测试）
8、TPD（NH3-TPD,CO2-TPD,CO-TPD）
9、TPR（H2-TPR）
10、TG-DSC（低温、高温均可测试、有多种气氛），TG-DTA
11、PPMS（可测变温电阻率RT曲线等）
12、MPMS（VSM可测磁带回线MH曲线、磁化率曲线MT曲线）
13、ICP（ICP-MS，ICP-OES，可精确测量多种元素含量，可达ppb级，）
14、ESR（ESR.EPR电子顺磁测试，低温、常温、高温ESR均可做）
15、介电常数（变温介电常数）、热电性能（塞贝克系数等）、铁电性能测试
16、CLSM 激光共聚焦扫描显微镜
17、3D轮廓仪，台阶仪
18、马尔文激光粒度仪（干法、湿法）
19、GPC（THF，DMF，氯仿相GPC，水相GPC，高温GPC）
20、压汞测试
21、TG-IR
22、GC-MS/LCMS
23、GPC（THF，DMF，CHCL3，水相）
24、核磁
25、质谱

26、元素分析（CHNSO）

27、Ramnm拉曼光谱

28、纳米粒度仪

29、TOC测试仪

30、水分检测仪
还可提供：导热系数、热膨胀系数、塞贝克系数、电导、固体紫外（紫外漫反射），红外(有ATR配件），荧光PL、拉曼（多种激发波长）等测试