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  • 扫描电子显微镜+X射线能谱仪(SEM+EDS

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  • 对应法规:成分分析
    CNAS认可项目:是
    • 产品特点

    扫描电子显微镜+X射线能谱仪(SEM+EDS)
        扫描电子显微镜利用二次电子或背散射电子成像,对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察,最大放大倍数可达30万倍,同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析

     

    测试范围:

     

    SEM的二次电子成像分辨率约3nm

     

    背散射电子成像分辨率约300nm

     

    EDS成分分析的元素范围BeU

     

    分析深度约1μm

     

    检测下限约1%

     

    空间分辨率约1μm

     

    服务项目:

     

    各种固体材料的形貌分析

     

    微区化学成分检测

     

    样品成分的线分布和面分布分析

     

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孙涛

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