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  • X射线光电子能谱仪(XPS)+饿歇电子能谱仪(AES)

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  • 对应法规:成分分析
    CNAS认可项目:是
    • 产品特点

    X射线光电子能谱仪(XPS)+饿歇电子能谱仪(AES)

          XPS利用光电效应的原理,测量X射线激发出的光电子能量和计数,对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析;AES利用电子激发出的俄歇电子,对表面进行微区的成分和化学态分析。

     

    测试范围:

     

    除H和He之外的所有元素

     

    分析深度约5nm(AES约3nm)

     

    检测下限约0.1%

     

    空间分辨率约30μm(AES10nm)

     

     

    服务项目:

     

    各种固体表面的元素成分

     

    化学价态

     

    分子结构分析

     

    深度剖析

     

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孙涛

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