SEM：利用阴极所发射的电子束经阳极加速，由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流，这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息，经过分别收集，放大就能从显示屏上得到各种相应的图像。

EDS：入射电子束可停留在被观察区域上的任何位置.X射线在直径1微米的体积内产生,可对试样表面元素的分布进行质和量的分析，高能电子束轰击样品表面，激发各种信号。

可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析：

‧SEM主要利用背散射电子（BEI）和二次电子（SEI）来成像。

‧EDS通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。 

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