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C-SAM是利用超声波脉冲探测样品内部空隙等缺陷的仪器，主要用于观察组件内部的芯片粘接失效、分层、裂纹、夹杂物、空洞等。
扫描模式
‧传输时间测量模式(A-Scan)
‧表面及横向截面扫描模式(C-Scan)
‧纵向截面成像模式(B-Scan)
‧透射扫描(T-Scan,限15MHz/30MHz探头)
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