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高能电子束轰击样品表面，激发各种信号。可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析：
‧SEM主要利用背散射电子（BEI）和二次电子（SEI）来成像。
‧EDS通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。
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