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检测认证人脉交流通讯录

薄膜表面测试_薄膜特性检测

背景介绍：材料表面及其涂层在创新产品中发挥着越来越重要的作用。产品表面 1 纳米厚度范围的结构和化学成分可能影响和决定产品功能，所以您需要了解薄膜表面的精确结构以确保获得期望的功能。剂拓科技提供专业的分析和成像技术，助您分析薄膜类产品。包括薄膜成分检测、薄膜表面分析及薄膜产品剖析检测服务。

薄膜成分检测：针对薄膜表面成分分析主要的测试方法：

方法	X射线电子能谱(XPS)	俄歇电子能谱 (AES)	X射线荧光光谱(XRF)	X射线能谱 (EDS)
方法概述	表面成分的超微量和痕量检测方法。	进行成分的深度剖析、薄膜及界面分析。	固体、液体、粉末测试。	对材料微区进行元素种类与含量测定，配合扫描电镜使用。
检测灵敏度	10^-2-10^-3	10^-2-10^-3	>10^-2	>10^-2
应用特点	无损检测，可作为定量分析	可分析H\He以外的所有元素，对样品表面要求较高，可作为定量分析。	测试Z=0-80的所有元素，含量ppm级-100%。同时可以测量外延层晶格参数。	只能测Z>11的元素,准确性较低

薄膜表面分析：针对薄膜表面形貌主要的测试方法：

测试方法	适用条件
扫描电子显微镜（SEM）/场发射扫描电子显微镜	薄膜表面断面形貌分析, 填料分散状态复合材料结构, 材料晶型分析晶粒大小,材料物相分析。结合EDS进行元素定性分析。
透射电镜（TEM）	透射电镜可以表征样品的质厚衬度，也可以表征样品的内部晶格结构，获得高倍放大倍数的电子图像；得到电子衍射花样。
扫描隧道显微镜（STM）	扫描隧道显微镜作为一种扫描探针显微术工具，扫描隧道显微镜可以让科学家观察和定位单个原子，它具有比它的同类原子力显微镜更加高的分辨率。此外，扫描隧道显微镜在低温下（4K）可以利用探针尖端
原子力显微镜（AFM）	AFM提供真正的三维表面图，AFM不需要对样品的任何特殊处理。