中国科学院广州化学研究所分析测试中心中科检测

扫描电镜与能谱仪 扫描电镜可用于物质的成分分析和失效分析，是利用精细聚焦电子束照射在样品表面，该电子束可以是静止或在样品表面作光栅扫描。在这个过程中，电子束与样品相互作用产生各种信号，其中包括二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X 射线和不同能量的光子等，这些信号来自样品中的特定区域，分别利用探测器接收，可以提供样品的各种信息，用于研究材料的微观形貌、晶体学特征和微区化学成分。 X 射线能谱仪是扫描电镜附带的附件，通过检测从样品出射的特征X 射线的波长或能量，测定样品元素的组成、相对含量以及分布。 扫描电镜相对于其它电镜具有分辨率高、放大倍率宽、三维立体效果好、样品制备简单、综合分析能力强、操作简单等优点。结合X 射线能谱仪，可用于金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、农作物和化工产品的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析；各种材料微区化学成分的定性定量检测；粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定；机械零件与工业产品的失效分析；镀层厚度、成分与质量评定；刑侦案件物证分析与鉴定；新材料性质的测定和评价等。 日本Hitachi S-3400N扫描电镜；德国Bruker Q200能谱仪扫描电镜和能谱仪 技术指标： 1）分辨率：SE 3 nm@30 kv（高真空模式），10 nm@3 kV（高真空模式）；BSE 4 nm@30kV（低真空模式）； 2）放大倍率：5～300 000 倍； 3）加速电压：0.3～30 kV； 4）电位移：±50 mm，工作距离：10 mm； 5）低真空范围：6～270 Pa； 6）最大样品直径：200 mm； 7）灯丝：预对中钨灯丝； 8）探头：二次电子探头，5 分割背散射探头； 9）能谱仪分辨率：129 eV。