上海复鑫化工分析检测中心

【仪器简介】
        扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜（原子力显微镜AFM,激光力显微镜LFM，磁力显微镜MFM等等）的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器，是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速采集和控制及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。
 
【仪器名称】扫描探针显微镜
【型号】Multimode IIIa

【功能/应用范围】材料表面形貌、相组成研究； 纳米刻蚀、加工与纳米器件研究 材料表面与薄膜电性能研究； 实时生物表面活性、生物结构与功能的关系研究 金属、聚合物、半导体、生物、胶体、配位化学物、陶瓷、无机化合物、有机物等表面原子、分子形貌研究 材料表面与薄膜硬度测定；材料表面与薄膜微载荷压痕、划痕研究

【主要附件】液体池，A,E,J三个扫描管，纳米微硬度附件，磁力显微镜附件，静电力显微镜附件，扫描隧道转换器，相-相扩充器，低电流转换器

【主要技术指标】最大水平扫描范围：125μm×125μm最大简直扫描范围：5μm 最高水平分辨率：0.1nm；最高垂直分辨率：0.01nm；放大倍数：100万倍 扫描探针显微镜包含类型：隧道扫描、磁力扫描、横向力扫描、力调制扫描、相检测扫描、静电力扫描