上海复鑫化工分析检测中心

【仪器简介】
        扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 （声子）、电子振荡 （等离子体）。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。
 
【仪器名称】扫描电子显微镜（SEM）
【型号】日本电子JSM-6390
【生产厂家】日本电子株式会社

【特点】1. 强大的电子光学系统，简单操作 2. 高解析度 3.全自动电子枪  4. 多图显示模式 5. 简单易懂的操作介面及功能表 6. 可变焦聚光镜修改 7. 全对中样品台 8. 低真空SEM 

【技术参数】放大倍数: 5-300，000倍 
解析度: 高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV) 
电子枪: 全自动，亦可手动调整 
样品台: 大全對中型X=80mm，Y=40mm ，Z=5到48mm，倾斜：-10 - +90度，旋转：360度 
灯丝: 工厂预对中灯丝（钨） 
图像模式: 二次电子像，成份像，拓扑像，阴影像 
加速电压: 5-30KV 
聚光镜: 可变焦聚光镜 物镜: 超级锥形物鏡 物镜光闌: 3档，X-Y可细调
电位移: ±50微米 自动功能: 聚焦，亮度，衬度，消像散 
最大样品: 直径：150mm 样品交换: 抽拉式样品台 
真空系统: 全自动扩散泵DP。分子泵TMP