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复旦大学微纳电子科技创新平台

检测认证人脉交流通讯录
  • 仪器名称:柔性四件组装加工手套箱
  • 价格型号:spectors 150型4m*1m*1.2m
  • 仪器分类:工艺实验设备/电子工艺实验设备
  • 应用领域:电子元器件
  • 所属单位:复旦大学微纳电子科技创新平台
  • 所在地点:上海市浦东新区张衡路825号
  • 产  地:微纳电子科技创新平台
  • 产  商:Kurt J.Lesker 公司
  • 价  值:0
  • 购置日期:1899-11-30

  

主要技术指标:Front pneumatically locking sliding door for easy source and substrate access Motorised substrate rotation Full computer control with recipe functions Optional Datalogging 1 x 10-7 mbar base pressure Pneumatic source and substrate shutters Uniformity +/- 5% for all sources

  

功能/应用范围:Mini-SPECTROS SPECTROS 100/150 Super-SPECTROS 150/200

  

主要测试和研究领域:电子/信息技术

  

仪器负责人:方鸣佳

  

电话:51355288

  

电子邮件:sme@fudan.edu.cn

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