检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：金属有机化合物气相淀积设备
- 价格型号：AIXTRON 2600 G
- 仪器分类：其它
- 应用领域：
- 所属单位：苏州生物医学工程技术研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：AIXTRON
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：*行星转盘式反应腔*含有惰性气体手套箱×射频加热系统，最高温度可以达到850C *EBARA 150M3/h 干式真空泵×包含一套标准备件×在线和远程控制计算机 *2×TMGa, 2×TMAl, 2*TMIn. 2*PH3, 3*AsH3. 1*TMGa, 1*DEZn, 1*Cp2Mg, 1*CBr4,2*SiH4, 3* Dummy Line , 3* DP 全部为水冷冷井 *EpiTT 在线测温测厚监控系统 ×MO源浓度控制系统 ×AsH3/ PH3 纯化系统 ×H2/N2 露点仪 ×真空吸笔
仪器用途：Aixtron 2600G3拥有行星转盘式专利的工艺技术，提供了良好的均匀性，对硬件和IC平台进行了改进，效率更高、生产速度也更快，且具备高标准的本地支持和服务。大功率半导体激光器的技术难点为1.薄膜材料的制备：多层薄膜的制备，薄膜组份的控制。2.结构外延材料的生长：量子阱或多量子阱结构材料的外延生长。Aixtron 2600G3为本实验室研制生产大功率半导体激光器提供关键的技术支持，可制备出结构复杂、均匀性良好的激光器。
收费标准：面议
机组负责人：张丽芳 0512-66806316 zhanglf@sibet.ac.cn
