或者

苏州生物医学工程技术研究所

检测认证人脉交流通讯录
  • 仪器名称:等离子增强型化学气相沉积系统PECVD
  • 价格型号:PlasmaPro System 100 100
  • 仪器分类:材料生长、镀膜设备
  • 应用领域:
  • 所属单位:苏州生物医学工程技术研究所
  • 所在地点:
  • 产  地:
  • 产  商:Oxford
  • 价  值:0
  • 购置日期:0000-00-00

技术指标:1.标准380 V -415 V,50 Hz电源箱; 2.13.56 MHz,600 W射频源及自动匹配网络; 3.50 kHz-460 kHz, 500W低频源; 4.底电极80℃-400℃连续可调; 5.200 mm铝制载盘; 6.系统漏气率:≤ 15 mTorr/min; 7.气体质量流量计控制精度:<±1%

仪器用途:薄膜的离子体刻蚀和淀积

收费标准:800元/小时

机组负责人:郭振  0512-69588390 15006202604  guozhen@sibet.ac.cn

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