技术指标:1.标准380 V -415 V,50 Hz电源箱; 2.13.56 MHz,600 W射频源及自动匹配网络; 3.50 kHz-460 kHz, 500W低频源; 4.底电极80℃-400℃连续可调; 5.200 mm铝制载盘; 6.系统漏气率:≤ 15 mTorr/min; 7.气体质量流量计控制精度:<±1%
仪器用途:薄膜的离子体刻蚀和淀积
收费标准:800元/小时
机组负责人:郭振 0512-69588390 15006202604 guozhen@sibet.ac.cn