技术指标:1.二次电子图像分辨率 ≤ 1.Onm ( 加速电压 15KV,工作距离4mm) ≤ 1.4nm (加速电压 1KV,减速模式) ≤ 2.0nm (加速电压 1KV,非减速模式) 背散射电子图像分辨率:3.0nm (15KV) 放大倍率:20~800,000 2.最大样品尺寸(直径) 100mm 样品台控制 五轴马达驱动
仪器用途:利用电子束照射物质表面,激发照射区域产生二次电子、背散射电子等电磁辐射,通过收集这些信息得到物质的微观形貌,广泛应用于材料科学、环境地质科学以及生命科学等学科研究领域
收费标准:360元/小时,喷金装置使用60元/次
机组负责人:郭振 0512-69588390 15006202604 guozhen@sibet.ac.cn