检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：光刻机
- 价格型号：PIONEER
- 仪器分类：其他
- 应用领域：
- 所属单位：苏州大学设备
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：德国 RAITH
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：电子束斑：1kV加速电压时小于4nm，20kV加速电压时小于2nm；束流大小漂移：小于0.5%/8小时；束斑位置漂移：小于300nm/小时
仪器用途：电子束辅助沉积
收费标准：1500元/小时
机组负责人：胡志军 15051466086 zhijun.hu@suda.edu.cn
