技术指标:扫描范围:90um * 90um * 10um 开环X-Y方向噪音小于0.1nm 闭环X-Y方向噪音小于0.15nm 开环Z方向噪音小于0.03nm 闭环Z方向噪音小于0.035nm
仪器用途:可对聚合物、半导体材料和生物材料等的表面形态观测和性能测试
收费标准:校外400元/小时,校内100元/小时(自带探针)
机组负责人:李洁爱 051265884915 lijieai@suda.edu.cn
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