技术指标:可用UV膜和蓝膜,适合于4英寸,6英寸和8英寸晶圆的扩片。
仪器用途:6寸硅片顶片
收费标准:10/片
机组负责人:欧文 13910705755 ouwen@ime.ac.cn
请点击查看电话