技术指标:曝光面积:100mm 分辨力:1.7mm(胶厚2 mm的正胶) 对准精度:±1mm 掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸样片尺寸:直径f15mm~f100mm 厚度:0.1mm~6mm 照明均匀性: ±5%
仪器用途:硅片、玻璃片、陶瓷片、宝石片等的曝光刻蚀。
收费标准:计件收费:校外50元/试样;校内30元/试样
机组负责人:姚红兵 13705283569
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