技术指标:1. 测量模式:原子力显微镜(AFM:接触模式、轻敲模式、抬起模式),导电AFM(CAFM),横向力/摩擦力显微镜(LFM),磁力显微镜(MFM),静电力显微镜(EFM),纳米刻蚀,液体环境测试,力曲线及力谱线; 2. 扫描范围:90μm×90μm×10μm 3. 样品尺寸:150mm×150mm×15mm(XYZ) 4 噪音水平:ㄑ50pm 5. 温度控制:-35℃至250℃,探针可加热
仪器用途:材料形貌表征及纳米刻蚀
收费标准:详见研究院网站
机组负责人:童灵 0519-81085964 tongling_jgri@126.com