技术指标:◇分辨率 横向:≥0.1nm 纵向:≥0.01nm;◇扫描范围 3μm×3μm;20μm×20μm;◇扫描频率 1Hz~100Hz◇步进电机及丝杠控制 10nm精度 ◇光栅扫描旋转角度 0~360o ◇样品台大小 10x10x10mm ◇D/A精度:16bit,32通道; A/D精度:16bit,10通道 ◇偏置电压 0~10V ◇隧道电流预置 0.5nA~10nA ◇图像分辨率 512×512 1024×1024 ◇灰度等级 256◇计算机 优于P42.0G/256M/40G ◇整套仪器的其他附件、连接电缆、软件确保仪器正常操作和日常维护,满足基本功能和以上技术参数。
仪器用途:科研教学
收费标准:按江苏省物价局规定
机组负责人:李雅丽 0513-85015890