检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：激光解理机
- 价格型号：AccuScribe Titan
- 仪器分类：其它
- 应用领域：
- 所属单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：NEW WAVE
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：利用高能量激光在样品表面烧灼出一定深度的沟道，实现样品表面的切割，即解理管芯的目的.
仪器用途：主要用于溅射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金属薄膜，AlN、SiO2等介质薄膜，一次可溅射两寸片5片，四寸片和六寸片1片，向下尺寸兼容，薄膜不均匀性≤±5%。为不影响他人工艺，以及有充足的时间对设备进行维护，氧化物溅射工艺只安排在周五、周六进行。每日18:00-19:00时为加班人员短暂休息和用餐时间，涉及到贵重金属的使用，工艺时需有工作人员在场，非工艺特别赶的情况，请尽量避开预约此段时间。 1.5小时起预约。
收费标准：According to 350μm×350μm chips，2inch wafer Capacity： 5 wafers/hour Scribed time/wafer： ≤11min Aligned time/wafer： ≤60 s Scribed Depth： 20μm±10% Scribe
机组负责人：张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
