技术指标:Transducers :15MHz/30MHz/50MHz/100MHz/230MHz Area Access Scanner :327mm×314mm Scan resolution:X/Y ± 0.5 μm Scan Mold :A, B, C, T, Q-BAM Image Resolution :2048×2048
仪器用途:超声扫描是利用不同材料对超声波声阻抗不同,对声波的吸收和反射程度不同,来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析,是目前纳米技术研究中非常重要的无损检测手段。
收费标准:120/30分钟
机组负责人:张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn