检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：RIE等离子刻蚀机
- 价格型号：903e
- 仪器分类：其它
- 应用领域：
- 所属单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：903e
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：温度:25度，侧壁垂直度：85度。关键尺寸偏差<0.1um，工艺气体：He，SF6,CHF3,O2，功率：0-600W
仪器用途：适用于150mm及以下单片晶片上SiO2/SiNx的刻蚀。刻蚀均匀性<±5%
收费标准：250/30分钟
机组负责人：张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
