技术指标:砂轮颗粒:#270;#600;#2000,砂轮转速:100-2000rpm,减薄速率:0.1-1um/s。
仪器用途:对晶片实现厚度减薄。|可应用材料:Si,GaAs,Inp,OSi,玻璃,蓝宝石,陶瓷等
收费标准:160元/小时
机组负责人:张嫔5 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
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