技术指标:硅片/SiC切割厚度不超过600um,划片槽大于60um,速度不超过40mm/s。玻璃/石英切割厚度不超过500um,划片槽大于150um、速度不超过2mm/s。
仪器用途:通过砂轮式划片刀将Si、玻璃、陶瓷、Ge、铌酸锂等材料分割成一定大小的芯片,实现芯片的分割目的。(周一~周三硬刀,周四周五软刀)
收费标准:300元/30分钟
机组负责人:张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
请点击查看电话