技术指标:切割片厚度不超过200um,划片槽宽度大于30um。
仪器用途:利用金刚石实现样品表面的切割,适用于减薄后的蓝宝石衬底的GaN样品。
收费标准:35/30分钟
机组负责人:张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
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