检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：氮（氧）氢管式退火炉
- 价格型号：定制
- 仪器分类：其它
- 应用领域：
- 所属单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 所在地点：
- 产 地：
- 产 商：定制
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
技术指标：设备技术参数：石英管内径７５ｍｍ（２寸片）；管内恒温区３００ｍｍ（静态闭管测试）：４５０－750度精确±１°Ｃ，３００ －４５０度精确±１．２－２．５°Ｃ工作温度３００－75０度升温速率１５°Ｃ／ｍｉｎ，降温速率５°Ｃ／ｍｉｎ开机重复性精度±１°Ｃ每管加热变压器功率６ＫＶＡ，恒温功率３．２ＫＶＡ。输入电源三相四线ＡＣ３８０ Ｖ±１０％，加热元件为直径６ｍｍ高温电热丝
仪器用途：主要适合用于半导体器件，纳米材料、二极管、IC电路、光电子、太阳能电池、扩散、氧化、退火等工艺的专用设备。本设备采用高可靠的配置，关键部分为进口件，故可靠性、重复性及质量稳定。
收费标准：100元/小时 ，O2工艺200元/小时，O2流量不得大于2.5L/min
机组负责人：张嫔 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
