技术指标:电子束分辨率:1.0nm@30KV 离子束分辨率:7nm@30KV 电子束加速电压:0.5KV~30KV 离子束加速电压:1KV~30KV 电子束放大倍率:30~120万倍 离子束放大倍率:200~90万倍
仪器用途:电路线条切割、改接、修正 微观分析
收费标准:1200元/小时 半小时起、每15分钟累计
机组负责人:虞勇坚 051085865579 yuyj98@163.com
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