或者

复旦大学材料科学系

检测认证人脉交流通讯录
  • 仪器名称: 二次离子质谱仪
  • 价格型号:IMS6F
  • 仪器分类:分析仪器/质谱仪器
  • 应用领域:礼品 工艺品;能源;电子元器件
  • 所属单位:复旦大学材料科学系
  • 所在地点:上海市杨浦区邯郸路220号
  • 产  地:法国
  • 产  商:CAMECA
  • 价  值:0
  • 购置日期:0000-00-00

  

主要技术指标:(1)深度分辨率:几个纳米;(2)空间分辨率:<一个微米;(3)质量分辨率:m/m5000(4)检测灵敏度:ppmppb;(5)绝缘层厚度为几个微米的样品质谱分析

  

功能/应用范围:(1)样品组分和杂质元素纵向分布的深度剖析;(2)样品组分和杂质元素面分布的一维线扫描分析;(3)样品组分和杂质元素面分布的离子图象;(4)多层薄膜样品组分和杂质元素分布及界面情况分析;(5)厚度为几个微米绝缘层样品的深度剖析

  

技术特色:(1)进行其它表面分析仪器所不能分析的元素氢(H)的检测;(2)IC工艺结深、表面金属化、背面金属化和表面钝化层的质谱检测与深度剖析;(3)半导体材料和光电材料Si,GaAs,HgCdTe,Ge,AsGaIn和InP等的质谱检测与深度剖析;(4)SOI材料性能和工艺的检测;(5)机械设备和金属材料中杂质元素氢(H)的检测,氢脆和金属疲劳机理的探讨

  

主要测试和研究领域:材料/珠宝首饰电子/信息技术能源/核技术

  

收费标准:其它收费方式

  

仪器负责人:钟高余 电话:021-65642393

  

电子邮件:ymcao@fudan.ac.cn,gyzhong@fudan.edu.cn

  

传真:021-65103056

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