或者

复旦大学分析测试中心

检测认证人脉交流通讯录
  • 仪器名称:双束显微镜
  • 价格型号:Auriga
  • 仪器分类:分析仪器/显微镜及图象分析仪器
  • 应用领域:电子元器件;电脑 软件
  • 所属单位:复旦大学分析测试中心
  • 所在地点:上海市杨浦区邯郸路220号科学楼东侧1-3层
  • 产  地:德国
  • 产  商:Carl Zeiss
  • 价  值:0
  • 购置日期:1899-11-30

主要技术指标:分辨率:1.0nm@15kV、1.9nm@1kV;离子束分辨率:2.5nm@30kV;加速电压:0.1-30kV(SEM)、1-30kV(FIB)

 

功能/应用范围:用于各种微纳器件和低维纳米人工结构的制作,是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具,应用范围包含:微纳电子器件、光电子器件、微纳机电系统、超导电子学器件、磁电子学器件、光子晶体等。

 

主要测试和研究领域:电子/信息技术

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