检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：滑动双温区等离子增强沉积系统
- 价格型号：OTF-1200X-II-80SL
- 仪器分类：其他
- 应用领域：其他
- 所属单位：中南大学
- 所在地点：湖南长沙岳麓区麓山南路932号
- 产 地：中国
- 产 商：合肥科晶材料技术有限公司
- 价 值：0
- 购置日期：2013-12-18
主要技术指标：1双温区，温度梯度最大可达200℃。最高工作温度1100℃。2等离子发射源的输出功率为5-500W，射频频率为13.56MHZ，反射功率最大为200W，自动匹配，射频接口为50?，噪音小于50db。冷却方式为风冷。电源为AC 208-240V,50/60HZ. 3无油真空泵机组，极限真空为10E-3Torr. 4质量流量计精度为0.02%，数字显示，自动控制。MFC 1范围：0-100sccm。MFC 2和3范围：0-200sccm。MFC 4范围：0-500sccm。5控温系统可实现最高20℃/min的升降温速率，可升至最高1100℃。可实现不同的升降温工艺。
主要应用领域：材料，电子与测量
检测项目：等离子体化学气相沉积分析
仪器联系人：黄寒
联系人电话：0731-88830323
